魏永强, 王唯骏, 李永辉, 王道洋, 杨佳乐, 刘畅, 吕怿东, 韦春贝, 钟素娟
表面技术. 2026, 55(6): 40-52.
DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2026.06.004
目的 为提升M2高速钢材料的表面性能,研究脉冲偏压占空比对TiAlCrN多元复合薄膜微观结构和性能的影响规律。方法 采用电弧离子镀方法,在M2高速钢表面制备TiAlCrN多元复合薄膜,再通过多种检测表征方法,探究脉冲偏压占空比对TiAlCrN多元复合薄膜微观结构与性能的影响规律。结果 随脉冲偏压占空比的增加,TiAlCrN薄膜表面大颗粒数量整体呈递减的变化趋势;薄膜晶面择优取向发生明显转变,占空比在20%及以下时为(200)晶面,占空比在30%及以上时转变为(111)晶面。当脉冲偏压占空比为10%时,薄膜中Al元素含量(原子数分数)达到峰值21.37%,平均晶粒尺寸最大为6.17 nm,薄膜硬度达到最大值2 381HV,薄膜的结合力最优为74 N;当脉冲偏压占空比为20%时,平均摩擦系数降至最小值0.84;占空比为40%时薄膜中Cr元素含量(原子数分数)最高为22.37%,Cr对薄膜晶粒的细化作用最显著,使薄膜平均晶粒尺寸最小为2.86 nm,致密的薄膜结构可有效阻隔腐蚀介质渗透,自腐蚀电位达到最高值-0.39 V (vs. SCE)。相较于M2高速钢基体,TiAlCrN多元复合薄膜的硬度、耐腐蚀及摩擦磨损性能均实现显著提升。TiAlCrN多元复合薄膜在刀具与模具性能提升方面具有良好的应用前景,研究结果为硬质薄膜沉积工艺优化提供了实验依据。结论 TiAlCrN多元复合薄膜能显著提升高速钢基体的性能,通过调节脉冲偏压占空比可优化其结构与综合性能,其中脉冲偏压占空比为10%时薄膜硬度最高,脉冲偏压占空比为40%时薄膜耐腐蚀和抗摩擦磨损性能最优。