王有良, 郭毅, 段小超, 于璞垚, 张文娟, 尹新城
表面技术. 2026, 55(1): 1-12.
DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2026.01.001
目的 解决磁性复合流体(Magnetic compound fluid, MCF)在抛光时水分流失导致抛光性能降低,从而增加抛光成本的问题。方法 提出一种基于多孔羰基铁粉(Porous carbonyl iron powder, PCIP)的MCF抛光液,探讨羰基铁粉的多孔结构在MCF水分保持、磨粒分布优化等方面的作用。首先,采用点蚀法制备多孔结构羰基铁粉,探究反应时间对物质结构、微观形貌、孔径和磁性能的影响规律;然后,通过抛光实验探究含多孔羰基铁粉的MCF对表面粗糙度和材料去除率的影响规律。最后,通过构建抛光质量-抛光作用力-MCF状态-润湿性-抛光温度的内在联系,探究多孔羰基铁粉对水分的作用机理,研究多孔结构对磨粒分布的影响。结果 通过控制反应时间,可在羰基铁粉表面制备出不同孔径的多孔结构,在3 h内,随着反应时间的增加,PCIP表面孔径和比表面积增大,磁性能下降,但其物质结构并未改变;采用含有PCIP-2的MCF2的抛光效果最优,在抛光60 min后,工件表面粗糙度由337 nm降至22 nm,下降率约为93.5%,相较于MCF0(含无多孔结构的羰基铁粉),提高了4.9%,材料去除率从4.36×108 μm3/min提升至6.65× 108 μm3/min;MCF2抛光后的形貌状态保持良好,PCIP-2粉体表现出更好的亲水性,抛光区域的温升更小。结论 多孔结构的储液和缓释性能维持了抛光时的润滑和冷却效果,延长了抛光液的使用寿命;通过镶嵌、固定等方式优化了磨粒分布,提升了MCF抛光性能。