双层结构黏结层热生长氧化物近指数生长机理研究

双层结构黏结层热生长氧化物近指数生长机理研究

王飞, 董会, 伊静, 冯玉坤

Near-exponential Growth Mechanism of Thermally Grown Oxide in Double Bond Coat

WANG Fei, DONG Hui, YI Jing, FENG Yukun

表面技术 . 2026, (1): 198 -207 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2026.01.017