熊晓晨, 韩晓琪, 燕怒
表面技术. 2014, 43(1): 67-70,89.
目的 研究磁控溅射工艺参数,包括溅射功率、溅射时间,对 TiN 涂层轴承钢表面性能的影响。方法 采用磁控溅射技术,固定其他工艺参数不变,分别以溅射功率和溅射时间为变量,在轴承钢 GCr15表面镀制 TiN 膜层,并测定硬度,进行摩擦磨损试验。 结果 固定溅射功率为 200 W, 随镀膜时间的延长,硬度和耐磨性呈递减趋势, 镀膜时间为 5 ~ 10 min 时, 硬度值达 345 . 23 ~ 353 . 88 HV, 摩擦磨损量为2 . 9 ~ 3 . 4 mg。 固定镀膜时间为 30 min,随着溅射功率从 70 W 增大至 200 W,硬度与耐磨性也呈递减趋势,溅射功率为 100 W 时,硬度值可达 577 . 91 HV,摩擦磨损量为 0 . 9 mg。 结论 溅射功率的影响占主导地位,且溅射功率不宜偏高。 欲提升材料表面硬度和耐磨性能,溅射功率取 100 W,镀膜时间取 30 min 最为适宜。