GaN基LED衬底材料化学机械抛光研究进展

GaN基LED衬底材料化学机械抛光研究进展

储向峰, 叶明富, 熊伟, 白林山, 董永平

Research Progress of Chemical Mechanical Polishing of Substrates Used

CHU Xiang-feng, YE Ming-fu, XIONG Wei, BAI Lin-shan, DONG Yong-ping

表面技术 . 2014, (1): 125 -130 .