代成成, 向军淮, 王军, 白凌云, 周双林, 吴嘉奕
表面技术. 2026, 55(8): 208-216.
DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2026.08.017
目的 作为减反射材料,酸催化溶胶-凝胶法制备的SiO2薄膜具有优异的机械性质,然而,其减反射性能需要进一步提升。方法 采用酸催化溶胶-凝胶法配制不同聚乙二醇(PEG10000)含量的SiO2溶胶,在玻璃衬底上制备PEG-SiO2减反射膜,研究PEG含量对SiO2溶胶稳定性、薄膜结构和性质的影响。结果 PEG加入后,SiO2溶胶由无色转变为浅绿色,但仍具有较好的稳定性;SiO2干凝胶粉末经过500 ℃热处理后为非晶态,PEG的加入未改变SiO2的微观结构。玻璃上制备的PEG-SiO2薄膜晶粒细小,表面均匀,粗糙度低,不同PEG含量的SiO2薄膜均具有减反射性能,其中,20% PEG-SiO2薄膜减反射性能最好,在0°入射,380~ 1 100 nm波段内的平均透过率为91.61%,比未镀膜玻璃(88.24%)高3.37%,45°入射时,380~1 100 nm波段内的平均透过率为87.06%,比未镀膜玻璃(81.14%)高5.92%,表明PEG-SiO2薄膜在大角度宽波段内具有优异的减反射性能。制备PEG-SiO2薄膜后,玻璃表面由亲水性(49.03°)转变为超亲水性(低于5°),表现出较好的防雾性能。结论 PEG改性的SiO2薄膜不仅具有宽波段大角度减反射性能,还具有超亲水防雾性能,有望作为多功能减反射膜用于光伏设备、光学传感器及显示设备等领域。