王成磊, 蔡航伟, 高原, 马志康, 袁琳, 张维
表面技术. 2012, 41(1): 20-22,26.
采用不同偏压,在201不锈钢表面进行多弧离子镀TiN 薄膜,研究了偏压对薄膜表面形貌、硬度、相结构及耐蚀性的影响。研究表明:薄膜表面存在着许多液滴颗粒,随着偏压的增加,液滴减少,但过大的偏压会使表面出现凹坑;薄膜的显微硬度随偏压的升高先增大后减小,偏压为-200V 时的本征硬度为2195HV;在3.5%的NaCl溶液中,TiN 薄膜试样的耐蚀性比基体略有提高,在1mol/L的H2SO4 溶液中,偏压-100V 制备的试样耐蚀性最好,比基材提高了475倍。