负偏压对多弧离子镀TiN 薄膜的影响

王成磊, 蔡航伟, 高原, 马志康, 袁琳, 张维

EffectofNegativeBiasVoltageonTiNCoatingDepositedbyMAIP

WANG Cheng-lei, CAI Hang-wei, GAO Yuan, MA Zhi-kang, YUAN Lin, ZHANG Wei

表面技术 . 2012, (1): 20 -22,26 .