基片偏压改变对镁合金 Ti / TiN 膜质量的影响

李忠厚, 宫学博, 郭腾腾, 马芹芹, 杨迪

Effect of Change of Bias Voltage on the Quality of Ti / TiN Film on Magnesium Alloy

LI Zhong-hou, GONG Xue-bo, GUO Teng-teng, MA Qin-qin, YANG Di

表面技术 . 2015, (1): 88 -91,132 .