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pH 值和表面活性剂对硅溶胶 CMP 抛光液的影响
张琳琪, 邹文俊, 夏琳, 彭进
Effects of pH Value and Surfactant on Silicon Sol CMP Slurry
ZHANG Lin-qi, ZOU Wen-jun, XIA Lin, PENG Jin
表面技术 . 2014, (
4
): 24 -26,36 .
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