亚毫米级硅微球双偏心式超精密研磨工艺研究

郑贤汶, 余家欣, 欧李苇, 杨鹏, 张严, 何涛

Dual-eccentric Ultra-precision Lapping Process for Sub-millimeter Silicon Microspheres

ZHENG Xianwen, YU Jiaxin, OU Liwei, YANG Peng, ZHANG Yan, HE Tao

表面技术 . 2026, (15): 97 -108 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2026.15.008