C 掺杂方式对 TiAlSiN 膜层组织及性能的影响

王彦峰, 李争显, 华云峰, 王宝云, 杜继红

Influence of C Incorporation Modes on the TiAlSiN Coating’ s Microstructure and Properties

WANG Yan-feng, LI Zheng-xian, HUA Yun-feng, WANG Bao-yun, DU Ji-hong

表面技术 . 2013, (4): 32 -34,38 .