基于固相化学反应的化学机械抛光KDP晶体材料去除模型

斯佳龙, 卢骁, 李岚, 杨连通, 陈凯, 于智, 李军

A Material Removal Model for KDP Crystal in Chemical Mechanical Polishing Based on Solid-phase Chemical Reactions

SI Jialong, LU Xiao, LI Lan, YANG Liantong, CHEN Kai, YU Zhi, LI Jun

表面技术 . 2026, (9): 35 -43 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2026.09.004