氮气流量对 ZrN / Zr 薄膜色度特性的影响

李新领, 周志男, 孙维连, 孙铂, 王会强, 安广

Effect of Nitrogen Flow on the Chromaticity Properties of ZrN / Zr Thin Films

LI Xin-ling, ZHOU Zhi-nan, SUN Wei-lian, SUN Bo, WANG Hui-qiang, AN Guang

表面技术 . 2013, (3): 13 -15,41 .