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掺Ti量对类金刚石薄膜机械性能的影响
祝闻, 冉春华, 金义栋, 聂朝胤, 王振林
The Effect of Ti Content on Mechanical Properties of DLC Films
ZHU Wen, RAN Chun-hua, JIN Yi-dong, NIE Chao-yin, WANG Zhen-lin
表面技术 . 2012, (
5
): 7 -10 .