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磁控溅射法制备W-Cu薄膜的研究
陈文革, 张剑, 熊斐, 邵菲
Research on W-Cu Film by Magnetron Sputtering Technology
CHEN Wen-ge, ZHANG Jian, XIONG Fei, SHAO Fe
表面技术 . 2012, (
4
): 42 -45 .
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