物理气相沉积中等离子体参数表征的研究进展

曲帅杰, 郭朝乾, 代明江, 杨昭, 林松盛, 王迪, 田甜, 石倩

Research Progress of Plasma Parameter Characterization in Physical Vapor Deposition

QU Shuai-jie, GUO Chao-qian, DAI Ming-jiang, YANG Zhao, LIN Song-sheng, WANG Di, TIAN Tian, SHI Qian

表面技术 . 2021, (10): 140 -146, 185 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.10.012