原子层沉积技术及应用

原子层沉积技术及应用

苗虎, 李刘合, 韩明月, 谷佳宾

Atomic Layer Deposition Technology and Its Application

MIAO Hu, LI Liu-he, HAN Ming-yue, GU Jia-bin

表面技术 . 2018, (9): 163 -175 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2018.09.022