单晶蓝宝石衬底晶片的化学机械抛光工艺研究

单晶蓝宝石衬底晶片的化学机械抛光工艺研究

余青, 刘德福, 陈涛

Chemico-mechanical Polishing Technique of Monocrystal Sapphire Substrate Wafer

YU Qing, LIU De-fu, CHEN Tao

表面技术 . 2017, (3): 253 -261 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.03.038