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精密谐振器件表面导电层原子层沉积制备技术研究
龚婷, 冯昊
Atomic Layer Deposition Technology for Surface Conductive Layers of Precision Resonant Devices
GONG Ting, FENG Hao
表面技术 . 2025, (
12
): 175 -185 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2025.12.016