稀疏分解算法在薄膜缺陷去噪中的应用

稀疏分解算法在薄膜缺陷去噪中的应用

黄文生, 陈功, 成旭, 朱锡芳

Application of Sparse Decomposition Algorithm in Denoising of Film Defects

HUANG Wen-sheng, CHEN Gong, CHENG Xu, ZHU Xi-fang

表面技术 . 2015, (2): 123 -128 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.02.024