原子层沉积技术在微纳器件中的应用研究进展

李惠琴, 陈晓勇, 王成, 穆继亮, 许卓, 杨杰, 丑修建, 薛晨阳, 刘俊

Progress in Application Research of Atomic Layer Deposition in Micro-nano Devices Field

LI Hui-qin, CHEN Xiao-yong, WANG Cheng, MU Ji-liang, XU Zhuo, YANG Jie, CHOU Xiu-jian, XUE Chen-yang, LIU Jun

表面技术 . 2015, (2): 60 -67 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.02.012