高取向低粗糙度金刚石薄膜生长的研究

高取向低粗糙度金刚石薄膜生长的研究

康强, 杨瑞霞, 石双振

Growth of Highly-oriented and Low-roughness Diamond Thin Film

KANG Qiang, YANG Rui-xia, SHI Shuang-zhen

表面技术 . 2015, (2): 29 -33 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.02.006