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磁控溅射沉积硬韧 ZrAlN 薄膜及薄膜力 学性能
孟凡军, 郭蕾, 杜军, 臧艳
Preparation and Mechanical Properties of Magnetron Sputtering ZrAlN Films with High Hardness and Good Toughness
MENG Fan-jun, GUO Lei, DU Jun, ZANG Yan
表面技术 . 2014, (
5
): 1 -5 .