基于WO3/Fe3+的可见光催化SiC化学机械抛光工艺研究
陈芝向, 张志旭, 冯铭, 方正, 蒋民, 李敏
Visible-light-catalyzed Chemical and Mechanical Polishing Process of SiC Based on WO3/Fe3+
CHEN Zhixiang, ZHANG Zhixu, FENG Ming, FANG Zheng, JIANG Min, LI Min
表面技术
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2026, (15): 29
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DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2026.15.003
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