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Nb-Si-N 纳米复合薄膜中的界面力学性能研究
刘学杰, 张富城, 姜永军, 任元, 李智
Interface Elastic Property Study on the Nb-Si-N Nano-composite Film
LIU Xue-jie, ZHANG Fu-cheng, JIANG Yong-jun, REN Yuan, LI Zhi
表面技术 . 2013, (
4
): 1 -4 .
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