金刚石等离子体刻蚀技术研究进展

金刚石等离子体刻蚀技术研究进展

焦硕沛, 张旭芳, 李明坤, 张雪恰, 张静

Research Progress on Diamond Plasma Etching Technique

JIAO Shuopei, ZHANG Xufang, LI Mingkun, ZHANG Xueqia, ZHANG Jing

表面技术 . 2025, (7): 34 -49 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2025.07.003