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Ti-Si-N 薄膜生长过程的计算机模拟
刘学杰, 洪超, 姜永军, 孙士阳
Computer Simulation of the Ti-Si-N Thin Film Growth
LIU Xue-jie, HONG Chao, JIANG Yong-jun, SUN Shi-yang
表面技术 . 2013, (
3
): 9 -12 .
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