非晶硅薄膜的镍离子注入研究

非晶硅薄膜的镍离子注入研究

李军利, 刘卫国, 周顺, 蔡长龙

Study on Amorphous Silicon Film Doped by Ni Ion Implantation

LI Jun-li, LIU Wei-guo, ZHOU Shun, CAI Chang-long

表面技术 . 2013, (2): 98 -100 .