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PECVD 技术制备低折射率光学薄膜
胡九龙, 杭凌侠, 周顺
Preparation of Low Refractive Index Optical Thin Film by PECVD Technology
HU Jiu-long, HANG Ling-xia, ZHOU Shun
表面技术 . 2013, (
2
): 95 -97 .
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