铜金属化中扩散阻挡层的研究进展

李荣斌, 康旭, 周滔, 张如林, 蒋春霞, 王璐

Research Advances in Diffusion Barrier Layers in Copper Metallization

LI Rongbin, KANG Xu, ZHOU Tao, ZHANG Rulin, JIANG Chunxia, WANG Lu

表面技术 . 2025, (1): 84 -96 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2025.01.008