不同阴极材料对PS-PVD等离子射流的影响

不同阴极材料对PS-PVD等离子射流的影响

姜在龙, 何箐, 张雨生, 赵乾

Effect of Different Cathode Materials on PS-PVD Plasma Jet

JIANG Zailong, HE Qing, ZHANG Yusheng, ZHAO Qian

表面技术 . 2024, (19): 223 -231 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2024.19.021