原子层沉积钌/氧化铝复合纳米薄膜的制备与电阻调控

廉卓禧, 朱香平, 王丹, 李相鑫

Fabrication and Bulk Resistance Modulation of Ru/Al2O3 Composite Nanofilm by Atomic Layer Deposition

LIAN Zhuoxi, ZHU Xiangping, WANG Dan, LI Xiangxin

表面技术 . 2024, (14): 173 -180 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2024.14.016