飞秒激光加工参数对RB-SiC表面形貌的影响

吴东江, 刘成, 杨峰, 牛方勇, 董志刚, 马广义, 康仁科

Effect of Femtosecond Laser Processing Parameters on RB-SiC Surface Morphology

WU Dongjiang, LIU Cheng, YANG Feng, NIU Fangyong, DONG Zhigang, MA Guangyi, KANG Renke

表面技术 . 2024, (3): 162 -169 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2024.03.016