超精密晶圆减薄砂轮及减薄磨削装备研究进展

周仁宸, 王哲, 杨远航, 吉佛涛, 刘坚, 李蓉, 尹韶辉

Research Progress on Grinding Wheels and Equipment for Ultra Precision Wafer Thinning

ZHOU Renchen, WANG Zhe, YANG Yuanhang, JI Fotao, LIU Jian, LI Rong, YIN Shaohui

表面技术 . 2024, (3): 1 -21 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2024.03.001