等离子喷涂制备靶材的研究进展

李禹静, 杨凯军, 朱锦鹏, 庆宇斌, 李庆奎, 孙本双, 何季麟

Research Progress of Target Preparation by Plasma Spraying

LI Yu-jing, YANG Kai-jun, ZHU Jin-peng, QING Yu-bin, LI Qing-kui, SUN Ben-shuang, HE Ji-lin

表面技术 . 2023, (8): 104 -115 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2023.08.006