(0001)面氧化锌单晶微纳米尺度划痕特性实验研究

李继军, 李源明, 张丽华, 郎风超, 杨诗婷, 王旭东, 杨文欣

#$NP Experimental Study on Micro-nano Scale Scratch Characteristics of (0001) Plane ZnO Single Crystal

LI Ji-jun, LI Yuan-ming, ZHANG Li-hua, LANG Feng-chao, YANG Shi-ting, WANG Xu-dong, YANG Wen-xin

表面技术 . 2023, (7): 231 -238 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2023.07.020