磁控溅射工艺对FeCrCoNiMn氧化物薄膜质量的影响

磁控溅射工艺对FeCrCoNiMn氧化物薄膜质量的影响

李岩, 张伟强

Effects of Magnetron Sputtering Process on Quality of FeCrCoNiMn Oxide Films

LI Yan, ZAHNG Wei-qiang

表面技术 . 2023, (1): 56 -62, 92 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2023.01.006