长余辉发光粒子与光催化剂在SiC晶圆化学机械抛光中的协同作用

王万堂, 张保国, 周佳凯, 李浩然, 李烨

Synergistic Effect of Long-afterglow Phosphor Particles and Photocatalyst in Chemical Mechanical Polishing of SiC Wafers

WANG Wan-tang, ZHANG Bao-guo, ZHOU Jia-kai, LI Hao-ran, LI Ye

表面技术 . 2022, (9): 251 -259 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2022.09.026