Zr靶功率对(WMoTaNb)ZrxN薄膜微观组织及性能的影响
曹丽娜, 邵文婷, 陈建, 王富强, 武上焜, 杨巍, 要玉宏, 刘江南
Effect of Zr Target Power on Microstructure and Performance of (WMoTaNb) ZrxN Films
CAO Li-na, SHAO Wen-ting, CHEN Jian, WANG Fu-qiang, WU Shang-kun, YANG Wei, YAO Yu-hong, LIU Jiang-nan
表面技术
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2022, (9): 160
-167
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DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2022.09.016
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