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锆元素诱导非球形磨粒对氧化锆陶瓷的化学机械抛光性能
丁振宇, 雷红
Chemical Mechanical Polishing Performance of Non-Spherical Abrasives on Zirconia Ceramics
DING Zhen-yu, LEI Hong
表面技术 . 2022, (
2
): 306 -312, 330 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2022.02.030