磁控溅射薄膜生长的模拟方法

磁控溅射薄膜生长的模拟方法

王晓倩, 赵晋, 刘建勇

Simulation Method of Magnetron Sputtering Film Growth

WANG Xiao-qian, ZHAO Jin, LIU Jian-yong

表面技术 . 2022, (2): 156 -164 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2022.02.014