双氧水在铜纳米粒子催化刻蚀n型单晶硅中的影响研究

洪世豪, 郑达敏, 马亮, 李绍元, 陈秀华, 马文会

Study on the Influence of Hydrogen Peroxide on Nano-Cu Catalyzed Etching of n-Type Single Crystal Silicon

HONG Shi-hao, ZHENG Da-min, MA Liang, LI Shao-yuan, CHEN Xiu-hua, MA Wen-hui

表面技术 . 2022, (1): 257 -264 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2022.01.027