原子层沉积技术改性CrN硬质涂层性能的第一性原理研究

蒋钊, 高恒蛟, 周晖, 肖更竭, 成功, 汪科良

First-principles Calculations on the Performance of the Atom Layer Deposition Modified CrN Hard Coatings

JIANG Zhao, GAO Heng-jiao, ZHOU Hui, XIAO Geng-jie, CHENG Gong, WANG Ke-liang

表面技术 . 2021, (11): 202 -207 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.11.020