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磁控溅射沉积V-Al-N 涂层的结构和性能研究
朱萍, 葛芳芳, 李胜祗, 黄峰
Structure and Properties of Magnetron Sputtered V-Al-N Coatings
ZHU Ping, GE Fang-fang, LI Sheng-zhi, HUANG Feng
表面技术 . 2012, (
4
): 46 -48 .
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