nc-(Ti,Al)(C,N)/a-SiNx纳米复合薄膜的制备及性能研究
陈强, 张而耕, 周琼, 黄彪, 梁丹丹, 韩生, 李耀东
Preparation and Properties of nc-(Ti,Al)(C,N)/a-SiNx Nanocomposite Films
CHEN Qiang, ZHANG Er-geng, ZHOU Qiong, HUANG Biao, LIANG Dan-dan, HAN Sheng, LI Yao-dong
表面技术
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2021, (10): 230
-238
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DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.10.022
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