Sn掺杂对SixSb100–x相变薄膜结晶行为的影响
杜玲玲, 周细应, 李晓, 周文华, 范志君
Effects of Sn Doping on Crystallization Behavior of SixSb100–x Phase Change Films
DU Ling-ling, ZHOU Xi-ying, LI Xiao, ZHOU Wen-hua, FAN Zhi-jun
表面技术
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2021, (9): 169
-175
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DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.09.017
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