工艺参数对硫化锌薄膜光学性能和结晶特性的影响

李坤, 熊玉卿, 王虎, 何延春, 王兰喜, 周超, 周晖

Effects of Process Parameters on Optical Properties and Crystallization Characteristics of Zinc Sulfide Films

LI Kun, XIONG Yu-qing, WANG Hu, HE Yan-chun, WANG Lan-xi, ZHOU Chao, ZHOU Hui

表面技术 . 2021, (6): 184 -192 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.06.019