薄膜缺陷研究进展综述
马永胜, 杨雨晨, 景泳淼, 孙飞, 董海义, 何平, 陈双凯, 张志伟, 陈子林, 杨馥羽, 刘佰奇, 张磊
Review on the Study Progress in Defects of Coating
MA Yong-sheng, YANG Yu-chen, JING Yong-miao, SUN Fei, DONG Hai-yi, HE Ping, CHEN Shuang-kai, ZHANG Zhi-wei, CHEN Zi-lin, YANG Fu-yu, LIU Bai-qi, ZHANG Lei
表面技术
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2021, (3): 91
-100
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DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.03.008
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