采用原子层沉积技术在管道内壁镀铝膜的分析研究

刘恒, 熊玉卿, 王济洲

Analysis of Aluminum Deposition on Inner Wall of Pipes with Atomic Layer Deposition

LIU Heng, XIONG Yu-qing, WANG Ji-zhou

表面技术 . 2012, (3): 47 -50 .